理工酷

1 范围 GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单品的单晶炉。

2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB 150-2011 钢制压力容器 GB／T 2900.23-2008 电工术语 工业电热装置 GB 3095-2012 环境空气质量标准 GB 8702-1998 电磁辐射防护规定 GB 8978-1996 污水综合排放标准 GB/T 10066.1-2004电热设备的试验方法 第1部分：通用部分 GB／T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉 GB/T 10067.1-2005电热装置基本技术条件 第1部分：通用部分 GB／T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分：间接电阻炉 GB 12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 16297-1996大气污染物综合排放标准 JB/T 9691-1999电热设备 产品型号编制方法

来源：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会